產品展示
金屬密封熱式流量控制器 半導體流量控制器特點▩•↟：
●長明零點穩定性◕✘·▩₪，每年變動小於滿量程的0.2%
●能夠根據命令變化在 3秒內完成設定並且過沖/下衝可忽略不計
●流量範圍究 -3 sccm至高達30,000 slpm
●高壓額定值-高達1,500 psi
●可選增強型內部後處理工藝-5u 英寸Ra (平均值)
●可拆卸式流量感測器
●不受安裝角度影響
●其他質量流量控制器在機城和電設計方面相容
●TTL相容型閥關團和吹掃功能
金屬密封熱式流量控制器 半導體流量控制器優勢▩•↟：
●全金屬流路可確保件純度並降低範流風險；
●在廣泛的工藝和應用範圍內擁有經認可的長期穩定性和準確性；
●由於效能可靠◕✘·▩₪， 因此投資回報率出眾；
●採用可拆卸式流量感測器◕✘·▩₪，因此無霧對氣壓進行連續監測和重新調節；
●由於慢擬量僅為輸入輸出◕✘·▩₪，因此易於安裝和保養↟◕·。
產品應用▩•↟：
●光端機
●LED/MOCVD
●半與體
●太陽能
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